产品介绍：

      聚焦离子束显微镜的成像原理与扫描电子显微镜的比较相似。一般来说是指将液态金属（通常是镓）离子源产生的离子束通过离子枪加速，聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像。还有就是用强电流离子束对表面原子进行剥离（通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层），以完成微、纳米级表面形貌加工。

      由于成像原理是聚焦离子束聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得的电子像，所以影像的分辨率直接决定于离子束的大小、带电离子的加速电压、二次离子讯号的强度、试片接地的状况、与仪器抗振动和磁场的状况等等。目前商用机型的影像分辨率最高已达 4nm，虽然其分辨率不及扫描式电子显微镜和穿透式电子显微镜，但是对于定点结构的分析，它没有试片制备的问题，在工作时间上较为经济。作为客户，选择最多的也是聚焦离子束显微镜。

      目前华丛的实验设备支持聚焦离子束显微镜的相关项目的开展，热忱欢迎广大客户来我公司指导交流！
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