产品介绍：
通过近些年来对聚焦离子束刻蚀性能的研究，我们可以得出以下结论：
1.不同材料的刻蚀速度不一样，例如硅，二氧化硅，铝三种不同元素，一般来说是铝刻蚀的速度大于二氧化硅的大于硅的，这主要是由于材料的原子结合能，原子量，材料的晶体结构有关。
2.随着离子束流的增大，由于溅射时粒子的重淀积，刻蚀速率的增长趋势放缓。
3.随着离子束流的增大，蚀坑的加深，蚀坑的形貌越来越不均匀。可以通过调节离子束流和扫描的方式，选择反应增强蚀刻等措施加以改进。
如您有用应用聚焦离子束的需要，欢迎联系我们！
深圳市华丛科技有限公司
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