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深圳市华丛科技有限公司
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聚焦离子束 |
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| 产品名称：聚焦离子束的分类标准 |
产品介绍：
聚焦离子束凭借其优越的性能被广泛运用于微电子领域，按照不同的方式，聚焦离子束也有不同的分类标准，具体可以按如下规则来分类
按用途：
FIB曝光系统
FIB注入系统
FIB刻蚀系统
FIB沉积系统
FIB电路、掩膜修整系统
SIM成像分析系统
按结构组成：
单束单光柱FIB系统
双束单光柱FIB系统
双束双光柱FIB系统
多束多光柱FIB系统
全真空多光柱FIB系统
按离子能量：
高能FIB系统（<１００ｋｅｖ）
中能FIB系统（１０－１００ｋｅｖ）
低能FIB系统（<１０ｋｅｖ）
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